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T形漏场板异质结功率器件及其制作方法

3922020/05/09
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 微电子
  • 项目名称 T形漏场板异质结功率器件及其制作方法
  • 知识产权 发明专利
  • 项目简介 本发明公开了一种T形漏场板异质结功率器件及其制作方法,主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括:衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、肖特基漏极(5)、台面(6)、栅极(7)、钝化层(8)和保护层(11)。钝化层(8)内刻有漏槽(9),钝化层(8)与保护层(11)之间淀积有T形漏场板(10),T形漏场板(10)与肖特基漏极(5)电气连接,且下端完全填充在漏槽(9)内。本发明具有制作工艺简单、反向特性好以及成品率高的优点,可作为开关器件。
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交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2021/05/09
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 联系人姓名 王小刚
  • 联系人电话 15802954800
  • 联系人邮箱 745490733@qq.com
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